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カテゴリ:マテリアル・バイオ工学コース

松本 克才 Matsumoto Katsutoshi [博士(工学)]

マテリアル・バイオ工学コース 教授

専門分野

  • 材料化学工学Material Chemical Engineering
  • 移動現象論Transport Phenomena

写真

写真:松本 克才

研究課題

  • 微細回路用銅箔のウェットエッチングに関する研究
    Wet Etching Mechanism of Copper Foil for Printed Circuit Boards
    [ Keywords: Fine Circuits, Transport Phenomena, Dissolution Rate]

研究シーズ

近年の電子機器の小型化・高集積化に伴う超高集積化技術を実現するために必要不可欠であるプリント配線板の微細化技術に関する研究を行っている。その中で特に、大量生産に有利なウェットエッチングプロセスの開発に関する速度論的研究を行っている。

画像の解説

電子機器の価値 =電子機器の性能÷サイズ×コスト×消費電力
レジスト形成
エッチング
レジスト剥離
ウェットエッチング法(サブトラクティブ法)

事例

  • 金属のエッチング特性に関する相談

研究のキーワード

微細回路形成,電子機器小型化,溶解速度,固-液系反応,反応速度論

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